-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍ស៊ើបអង្កេតស៊ីមីកុងដុកទ័រ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឧបករណ៍ផ្ទុកឧបករណ៍សេរ៉ាមិចបន្ទះសេរ៉ាមិច
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់សេរ៉ាមិចអាលុយមីណាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ការផ្សាភ្ជាប់បន្ទប់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ចិញ្ចៀនបិទជិតសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាជម្រើសជំនួសចិញ្ចៀន O-ring ប៉ូលីមែរនៅក្នុងបរិយាកាសខ្លាំងដែលអេឡាស្តូមឺររលួយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ចិញ្ចៀនបិទជិតរឹងនេះត្រូវបានប្រើក្នុងកម្មវិធីបិទជិតឋិតិវន្ត - ជាធម្មតាត្រូវបានផ្គូផ្គងជាមួយលោហៈទន់ ឬប្រដាប់បិទជិតក្រាហ្វីត - ដើម្បីផ្តល់នូវការទប់ទល់ឧស្ម័នដែលអាចទុកចិត្តបាននៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 800°C និងនៅក្នុងប្លាស្មា ឬបរិយាកាសគីមីដ៏ខ្លាំងក្លា។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវការចេញឧស្ម័នសូន្យ កម្លាំងបង្ហាប់ខ្ពស់ (កម្លាំងពត់កោងមូលដ្ឋាន 361 MPa) និងភាពអសកម្មគីមី (ធន់នឹងហាឡូហ្សែន អាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងលើកលែងតែ HF)។ ផ្ទៃបិទជិតដែលមានភាពជាក់លាក់ (ភាពរាបស្មើ ≤5 μm ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra ≤0.2 μm) ធានានូវទំនាក់ទំនងមិនលេចធ្លាយជាមួយសមាសធាតុលោហៈ ឬសេរ៉ាមិចដែលផ្គូផ្គង។
-
ចិញ្ចៀនផ្តោតអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ប្រព័ន្ធឆ្លាក់ប្លាស្មា និងប្រព័ន្ធ CVD
ចិញ្ចៀនផ្តោតអង្គជំនុំជម្រះរបស់ St.Cera គឺជាសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការដ៏សំខាន់មួយដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មា CVD និង PVD។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% (Al₂O₃) ចិញ្ចៀននេះព័ទ្ធជុំវិញគែមបន្ទះសៀគ្វីដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការចែកចាយមុំអ៊ីយ៉ុង ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋានឆ្លាក់នៅទូទាំងផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីន ឬក្លរីន។ ID/OD និងភាពរាបស្មើនៃដីដែលមានភាពជាក់លាក់ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានការកំណត់ទីតាំងគែមបន្ទះសៀគ្វីបានត្រឹមត្រូវ កាត់បន្ថយពិការភាពគែម និងការបង្កើតភាគល្អិត។
-
ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចអាលុយមីណាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់បន្ទប់ដំណើរការ CVD / PVD
ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ប្រើប្រាស់នៅក្នុងបន្ទប់ដំណើរការ CVD (Chemical Vapor Deposition) និង PVD (Physical Vapor Deposition)។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% ចិញ្ចៀននេះបម្រើជាស្រទាប់ខាងក្នុងបន្ទប់ ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍ ឬសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការ ដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងការពារជញ្ជាំងបន្ទប់ពីសំណឹក។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីនដ៏ខ្លាំងក្លា។ ការអត់ធ្មត់វិមាត្រច្បាស់លាស់ (±0.05 ម.ម លើ ID/OD) និងភាពរាបស្មើ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានទីតាំងគែមបន្ទះដែលមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៃការដាក់ និងកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli — ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើង និងផុយស្រួយដោយមិនប៉ះ
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli របស់ St.Cera ប្រើប្រាស់ការលើកឌីណាមិកខ្យល់ដើម្បីគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដោយមិនចាំបាច់ប៉ះពាល់រាងកាយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ ឬស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) វាមានក្បាលបាញ់ដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ដែលបញ្ចេញឧស្ម័នដែលមានសម្ពាធដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ខ្យល់ស្តើងមួយរវាងឧបករណ៍បញ្ចប់ និងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ។ គោលការណ៍មិនប៉ះគ្នានេះលុបបំបាត់ការចម្លងរោគផ្នែកខាងក្រោយ ការប្រេះគែម និងការខូចខាតផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរស្តើង (≤100 μm) ផុយស្រួយ ឬរួញ។ ស្រទាប់សេរ៉ាមិចផ្តល់នូវកម្លាំងបត់បែនខ្ពស់ (361 MPa សម្រាប់ Al₂O₃; រហូតដល់ 550–600 MPa សម្រាប់ SiC) ម៉ាស់ទាប និងស្ថេរភាពវិមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលធានាបាននូវទីតាំងដែលអាចធ្វើឡើងវិញបានក្នុងមនុស្សយន្តផ្ទេរបន្ទះវ៉ាហ្វឺរល្បឿនលឿន។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម
ក្រុមហ៊ុន St.Cera ផលិតគ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិច អាលុយមីណា (Al₂O₃) ដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ទៅតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសរបស់អតិថិជន។ ដោយប្រើប្រាស់អាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% សមាសធាតុទាំងនេះផ្តល់នូវកម្លាំងពត់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (361 MPa) ភាពរឹងខ្ពស់ (16 GPa) និងកម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចដ៏លេចធ្លោ (15×10⁶ V/m)។ ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការផ្គុំធន់នឹងការពាក់ អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី និងគ្រឿងបរិក្ខារសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវការស្រូបយកទឹកស្ទើរតែសូន្យ (0%) និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅ 7.2×10⁻⁶/℃ ដែលធានាបាននូវស្ថេរភាពវិមាត្រក្រោមលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរ។
-
ប្រដាប់បូមធូលីសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធញើសសម្រាប់ដោះស្រាយបន្ទះស្តើងៗ
ក្បាលដែកសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធតូចៗរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលមានរន្ធតូចៗស្មើៗគ្នាចាប់ពី 30–45% និងទំហំរន្ធតូចៗចាប់ពី 10 ដល់ 100 μm។ មិនដូចក្បាលដែកដែលមានចង្អូរធម្មតាទេ ផ្ទៃដែលមានរន្ធតូចៗនេះផ្តល់នូវកន្លែងទំនេរចែកចាយពាសពេញផ្នែកខាងក្រោយបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ ដោយកាន់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលរួញ ស្តើង ឬមានរាងឯកសណ្ឋានបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពដោយមិនលើកចេញពីគែម ឬបាក់ឡើយ។ កន្លែងទំនេរស្រាលៗ (អាចលៃតម្រូវបានតាមរយៈឧបករណ៍រឹតបន្តឹង) ក៏ការពារការសម្គាល់ផ្នែកខាងក្រោយផងដែរ។
-
ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមធូលីសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធញើសដែលមានមូលដ្ឋានលើអាលុយមីញ៉ូមសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើង
បន្ទះរន្ធរន្ធដែលមានមូលដ្ឋានលើអាលុយមីញ៉ូមរបស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតពី Al₂O₃ ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.6% ជាមួយនឹងរន្ធរន្ធបើកចំហដែលគ្រប់គ្រងបាន 30–45% និងទំហំរន្ធរន្ធឯកសណ្ឋានចាប់ពី 10 ទៅ 50 μm។ មិនដូចបន្ទះរន្ធរន្ធដែលមានចង្អូរទេ ផ្ទៃរន្ធរន្ធនេះផ្តល់នូវកន្លែងទំនេរចែកចាយទូទាំងផ្នែកខាងក្រោយបន្ទះវ៉ាហ្វឺរទាំងមូល ដោយលុបបំបាត់ស្នាមគែម និងអាចឱ្យការកាន់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរស្តើងខ្លាំង (≤100 μm) ឬបន្ទះវ៉ាហ្វឺរកោងបានយ៉ាងថ្នមៗ។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវកម្លាំងពត់កោង ≥250 MPa និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 400°C នៅក្នុងខ្យល់។
-
បន្ទះចែកចាយឧស្ម័នអាលុយមីញ៉ូមសម្រាប់ក្បាលផ្កាឈូក CVD/PVD
បន្ទះចែកចាយឧស្ម័ន (ក្បាលផ្កាឈូក) របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ពីសេរ៉ាមិចអាលុយមីណា 99.8% ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់។ វាមានលក្ខណៈពិសេសនៃរន្ធតូចៗជាច្រើន (អង្កត់ផ្ចិត 0.3–1.5 ម.ម) ដែលធានាបាននូវលំហូរឧស្ម័នឯកសណ្ឋានឆ្លងកាត់ផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ CVD, PVD ឬ ALD។ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (>15×10⁶ V/m) និងភាពធន់នឹងប្លាស្មារបស់បន្ទះធ្វើឱ្យវាចាំបាច់សម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ស្តើងនៃស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
-
ម្ជុលទ្រទ្រង់សេរ៉ាមិចសម្រាប់គ្រឿងបរិក្ខារដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ
ម្ជុលទ្រទ្រង់សេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera (ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាម្ជុលលើក ឬម្ជុលទ្រទ្រង់) ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងបន្ទប់ដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដើម្បីលើកបន្ទះសៀគ្វី ឬស្រទាប់ខាងក្រោមឡើងខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយ កំដៅ ឬត្រជាក់។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម ឬស៊ីលីកុននីទ្រីត 99.8% ម្ជុលទាំងនេះផ្តល់នូវកម្លាំងបង្ហាប់ខ្ពស់ ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី។ ការរចនាអឌ្ឍគោល ឬចុងសំប៉ែតការពារការកោសបន្ទះសៀគ្វី។
