-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចចិញ្ចៀនអាលុយមីណាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឧបករណ៍សេរ៉ាមិចដែលប្ដូរតាមបំណងរបស់ ST.CERA
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) – ភាពរឹងខ្ពស់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងពីស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (មាតិកា SiC 99.72% Si សេរី 0.05%) ដោយប្រើសម្ភារៈបាច់ S1111។ វាផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចពិសេស៖ កម្លាំងពត់ 449 MPa (វាស់វែង) ម៉ូឌុលយឺត 457 GPa (វាស់វែង) និងភាពរឹង Vickers 25–28 GPa (ធម្មតា)។ ដង់ស៊ីតេទាប (3.10–3.15 g/cm³ ធម្មតា) ផ្តល់នូវភាពរឹងជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលល្អសម្រាប់មនុស្សយន្តផ្ទេរ wafer ល្បឿនលឿន។ ជាមួយនឹងចរន្តកំដៅ 120–150 W/m·K (ធម្មតា) និងមេគុណពង្រីកកំដៅ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ធម្មតា) ឧបករណ៍បញ្ចប់នេះបញ្ចេញកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងរក្សាស្ថេរភាពវិមាត្រក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (រហូតដល់ 1600–1700°C គ្មានបន្ទុក)។ ពណ៌ខ្មៅ/ប្រផេះ និងការស្រូបយកទឹកសូន្យធានានូវភាពឆបគ្នានៃបន្ទប់ស្អាត។
-
ប្រដាប់បូមខ្យល់ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) សម្រាប់បរិស្ថានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងប្លាស្មា
ដង្កៀបសេរ៉ាមិចដែលមានមូលដ្ឋានលើ SiC របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតចេញពីកាបូនស៊ីលីកុនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (បាច់ S1111, SiC 99.72%, Si សេរី 0.05%)។ វាផ្តល់នូវកម្លាំងពត់កោងដែលវាស់បាន 449 MPa ភាពធន់នឹងការបាក់ 3.12 MPa·m¹/² និងម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក 457 GPa។ ចរន្តកំដៅធម្មតារបស់សម្ភារៈ (120–150 W/m·K) និងការពង្រីកកំដៅទាប (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) អាចឱ្យមានការកើនឡើងសីតុណ្ហភាពយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងការរួញតូចបំផុតនៃបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលវដ្តកម្ដៅ។ ដង្កៀបអាចត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាបន្ទះសៀគ្វីបូមធូលីដែលមានរន្ធ (លំហូរឧស្ម័នឯកសណ្ឋាន) ឬបន្ទះសៀគ្វីស្តង់ដារដែលមានចង្អូរ។ ជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាពប្រើប្រាស់អតិបរមា 1600–1700°C (គ្មានបន្ទុក) និងភាពធន់នឹងសំណឹកប្លាស្មាពិសេស ដង្កៀបនេះគឺល្អសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ការធ្វើឱ្យក្តៅ, RTP) និងបន្ទប់ឆ្លាក់ដ៏ខ្លាំងក្លាដែលបន្ទះសៀគ្វីអាលុយមីញ៉ូមរលួយ។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឧបករណ៍ផ្ទុកសេរ៉ាមិច
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចិញ្ចៀនកិនសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមដែលមានខ្នងដែកសម្រាប់កម្មវិធីកិនដែលមានភាពរឹងខ្ពស់
ចិញ្ចៀនកិនអាលុយមីញ៉ូមដែលមានមូលដ្ឋានលើលោហៈរបស់ St.Cera ផ្សំស្រទាប់ពាក់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (99.8% Al₂O₃) ជាមួយនឹងផ្នែកខាងក្រោយដែកដែលបានកែច្នៃយ៉ាងជាក់លាក់ (ជាធម្មតាអាលុយមីញ៉ូម ឬដែកអ៊ីណុក)។ ការរចនាចម្រុះនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ពិសេស និងភាពអសកម្មគីមីរបស់សេរ៉ាមិចលើផ្ទៃកិន ខណៈដែលមូលដ្ឋានដែកបន្ថែមកម្លាំងមេកានិច ការតោងងាយស្រួល និងភាពធន់នឹងការបាក់បែកផុយ។ ស្រទាប់អាលុយមីញ៉ូមផ្តល់នូវកម្លាំងពត់បាន 361 MPa ភាពរឹង Vickers 16 GPa និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 800°C។ មូលដ្ឋានដែកត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងជាមួយរន្ធតោង ម្ជុលកំណត់ទីតាំង ឬលក្ខណៈសម្បត្តិម៉ាញេទិកសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលទៅក្នុងម៉ាស៊ីនកិន ម៉ាស៊ីនកិនភព និងឧបករណ៍ CMP។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍ស្ថានីយស៊ើបអង្កេតស៊ីមីកុងដុកទ័រ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ដំណើរការកែច្នៃតាមតម្រូវការនៃ Al2O3 Ceramic Wafer Chuck
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចានសេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ST.CERA តាមតម្រូវការ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឈុកបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូមទំហំ 12 អ៊ីញសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះស្តើងទំហំ 300 មីលីម៉ែត្រ
ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមខ្យល់ទំហំ 12 អ៊ីញរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងជាក់លាក់ពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (Al₂O₃) 99.8% សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វើរ 300 មីលីម៉ែត្រ។ ក្បាលម៉ាស៊ីននេះមានផ្ទៃដែលមានចង្អូរល្អិតល្អន់ (ទទឹងចង្អូរ 0.5–1.0 មីលីម៉ែត្រ ជម្រេ 2–3 មីលីម៉ែត្រ) ដើម្បីធានាបាននូវការចែកចាយក្នុងកន្លែងបូមខ្យល់ស្មើភាពទូទាំងអង្កត់ផ្ចិត 300 មីលីម៉ែត្រទាំងមូល។ ភាពរាបស្មើត្រូវបានរក្សាក្នុងរង្វង់ 5 μm ដែលអាចឱ្យការជួសជុលបន្ទះវ៉ាហ្វើរមិនរួញអំឡុងពេលកាត់ ការកិនផ្នែកខាងក្រោយ និងការត្រួតពិនិត្យ។ កម្លាំងបត់បែនខ្ពស់ (361 MPa) និងភាពរឹង (16 GPa) របស់វត្ថុធាតុធានានូវស្ថេរភាពវិមាត្ររយៈពេលវែង សូម្បីតែស្ថិតនៅក្រោមវដ្តបូមខ្យល់ម្តងហើយម្តងទៀតក៏ដោយ។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមជាមួយឆានែលបូមធូលីរួមបញ្ចូលគ្នា
ឧបករណ៍បញ្ចប់បូមធូលីអាលុយមីញ៉ូមរបស់ St.Cera បញ្ចូលបណ្តាញបូមធូលីដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ និងរន្ធបឺតដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងតួអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8%។ ការរចនានេះលុបបំបាត់បន្ទះបូមធូលីខាងក្រៅ ដែលអាចឱ្យមានការទាញបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដោយផ្ទាល់ជាមួយកម្លាំងកាន់ឯកសណ្ឋាន។ កម្លាំងពត់កោងខ្ពស់ (361 MPa) និងភាពរឹង (16 GPa) របស់វត្ថុធាតុដើមធានាបាននូវស្ថេរភាពវិមាត្ររយៈពេលវែងក្រោមវដ្តបូមធូលីម្តងហើយម្តងទៀត។ ភាពរាបស្មើទូទាំងតំបន់បន្ទះត្រូវបានរក្សាក្នុងរង្វង់ 10 μm ដែលការពារភាពតានតឹងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ និងការបាក់។ រន្ធបូមធូលីត្រូវបានដាក់នៅគែមម៉ោនខាងក្រោយសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលងាយស្រួលជាមួយដៃមនុស្សយន្ត OEM។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាលុយមីណាដែលមានសុវត្ថិភាព ESD សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើងដែលងាយនឹងប្រតិកម្មនឹងឋិតិវន្ត
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមដែលមានសុវត្ថិភាព ESD (អេឡិចត្រូស្តាទិច) របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងពី Al₂O₃ ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% ជាមួយនឹងភាពធន់នៃផ្ទៃដែលត្រូវបានរៀបចំតាមតម្រូវការនៃ 10⁶–10⁹ Ω/sq ដែលសម្រេចបានតាមរយៈដំណើរការដូប ឬថ្នាំកូតដែលមានកម្មសិទ្ធិ។ គ្រឿងបន្លាស់ទាំងនេះបញ្ចេញបន្ទុកឋិតិវន្តប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយការពារការខូចខាតអេឡិចត្រូស្តាទិចចំពោះបន្ទះសៀគ្វី និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលងាយប្រតិកម្ម។ សម្ភារៈមូលដ្ឋានរក្សាបាននូវកម្លាំងពត់ខ្ពស់ (361 MPa) ភាពរឹង (16 GPa) និងកម្លាំងឌីអេឡិចត្រិច (15×10⁶ V/m)។ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចដែលមានសុវត្ថិភាព ESD រួមមានឧបករណ៍បញ្ចប់ ម្ជុលលើក ផ្លូវដែកណែនាំ និងគ្រឿងបរិក្ខារផ្ទាល់ខ្លួនសម្រាប់ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម FAB។
