ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) – ភាពរឹងខ្ពស់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងពីស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (មាតិកា SiC 99.72% Si សេរី 0.05%) ដោយប្រើសម្ភារៈបាច់ S1111។ វាផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចពិសេស៖ កម្លាំងពត់ 449 MPa (វាស់វែង) ម៉ូឌុលយឺត 457 GPa (វាស់វែង) និងភាពរឹង Vickers 25–28 GPa (ធម្មតា)។ ដង់ស៊ីតេទាប (3.10–3.15 g/cm³ ធម្មតា) ផ្តល់នូវភាពរឹងជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលល្អសម្រាប់មនុស្សយន្តផ្ទេរ wafer ល្បឿនលឿន។ ជាមួយនឹងចរន្តកំដៅ 120–150 W/m·K (ធម្មតា) និងមេគុណពង្រីកកម្ដៅ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ធម្មតា) ឧបករណ៍បញ្ចប់នេះបញ្ចេញកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងរក្សាស្ថេរភាពវិមាត្រក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (រហូតដល់ 1600–1700°C គ្មានបន្ទុក)។ ពណ៌ខ្មៅ/ប្រផេះ និងការស្រូបយកទឹកសូន្យធានានូវភាពឆបគ្នានៃបន្ទប់ស្អាត។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស(ផ្អែកលើរបាយការណ៍តេស្ត SiC S1111 ដែលបានផ្គត់ផ្គង់ និងតម្លៃធម្មតា)):
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
| សម្ភារៈ | ស៊ីអ៊ីក (ស៊ីអ៊ីក ៩៩.៧២%, ស៊ីអ៊ីកសេរី ០.០៥%) |
| ពណ៌ | ខ្មៅ/ប្រផេះ |
| ដង់ស៊ីតេ | ៣.១០–៣.១៥ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| ការស្រូបយកទឹក | 0% |
| កម្លាំងបត់បែន | ៤៤៩ MPa (មធ្យម) |
| ភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹង | ៣.១២ MPa·m¹/² (មធ្យម) |
| ម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក | ៤៥៧ ជីភីអា |
| ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ | ២៥–២៨ ជីភីអា |
| ចរន្តកំដៅ (25°C) | ១២០–១៥០ វ៉ាត់/មីលីម៉ែត្រគីឡូវ៉ាត់ |
| CTE (២៥–១០០០°C) | ៤.០–៤.៥ × ១០⁻⁶/℃ |
| សីតុណ្ហភាពប្រើប្រាស់អតិបរមា (គ្មានបន្ទុក) | ១៦០០–១៧០០°C |
កម្មវិធី៖
● ការដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ក្រោយការកម្តៅ, RTP, epitaxy)
● បន្ទប់ឆ្លាក់ប្លាស្មាដែលត្រូវការភាពធន់នឹងសំណឹកខ្ពស់
● មនុស្សយន្តផ្ទេរល្បឿនលឿន (ទម្ងន់ស្រាល និងមានភាពរឹងខ្ពស់)
ការផលិត៖
ការដុតម្សៅ SiC → ការកិនដោយ CNC ភាពជាក់លាក់នៃទម្រង់ដៃ និងលក្ខណៈពិសេសនៃការម៉ោន → ការលាបផ្ទៃ → ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន។ ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រ 100% និងការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយអេលីយ៉ូមសម្រាប់កម្មវិធីបូមធូលី។
ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
● ការត្រួតពិនិត្យ CMM លើប្រវែង ទទឹង និងភាពរាបស្មើ
● ការធ្វើតេស្តកម្លាំងពត់ក្នុងមួយបាច់ (តាមស្តង់ដាររបាយការណ៍តេស្ត)
● ការត្រួតពិនិត្យដោយមើលឃើញក្រោមមីក្រូទស្សន៍សម្រាប់ពិការភាពលើផ្ទៃ
គុណសម្បត្តិជាងអាលុយមីញ៉ូម ឬលោហៈ៖
● ម៉ូឌុលអេឡាស្ទិកខ្ពស់ជាង 2× (457 ទល់នឹង ~380 GPa សម្រាប់អាលុយមីញ៉ូម) – ការពត់កោងតិចជាង
● ចរន្តកំដៅខ្ពស់ជាង 3 ដង – ការរលាយកំដៅលឿនជាងមុន
● ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព >1600°C ធៀបនឹង 800°C របស់អាលុយមីណានៅក្នុងខ្យល់
● ដង់ស៊ីតេទាបជាងដែកថែប – កាត់បន្ថយទម្ងន់បាន 40%
ការប្ដូរតាមបំណង៖
ប្រវែង 150–450 ម.ម, រាងចុង (ចំណុចទាញគែម, Bernoulli, សំប៉ែត), លំនាំគែមម៉ោនតាមគំនូរ OEM។
*ទិន្នន័យមេកានិចទាំងអស់ខាងលើបានមកពីរបាយការណ៍សាកល្បងដែលបានផ្គត់ផ្គង់ (បាច់ S1111)។ តម្លៃកម្ដៅ និងភាពរឹងគឺជាលក្ខណៈធម្មតាសម្រាប់ថ្នាក់ SiC នេះ។ សូមទាក់ទងមកយើងខ្ញុំសម្រាប់វិញ្ញាបនបត្រជាក់លាក់តាមឡូត៍។*
