ប្រដាប់បូមខ្យល់ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) សម្រាប់បរិស្ថានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងប្លាស្មា
ដង្កៀបសេរ៉ាមិចដែលមានមូលដ្ឋានលើ SiC របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតចេញពីកាបូនស៊ីលីកុនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (បាច់ S1111, SiC 99.72%, Si សេរី 0.05%)។ វាផ្តល់នូវកម្លាំងពត់កោងដែលវាស់បាន 449 MPa ភាពធន់នឹងការបាក់ 3.12 MPa·m¹/² និងម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក 457 GPa។ ចរន្តកំដៅធម្មតារបស់សម្ភារៈ (120–150 W/m·K) និងការពង្រីកកំដៅទាប (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) អាចឱ្យមានការកើនឡើងសីតុណ្ហភាពយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងការរួញតូចបំផុតនៃបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលវដ្តកម្ដៅ។ ដង្កៀបអាចត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាបន្ទះសៀគ្វីបូមធូលីដែលមានរន្ធ (លំហូរឧស្ម័នឯកសណ្ឋាន) ឬបន្ទះសៀគ្វីស្តង់ដារដែលមានចង្អូរ។ ជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាពប្រើប្រាស់អតិបរមា 1600–1700°C (គ្មានបន្ទុក) និងភាពធន់នឹងសំណឹកប្លាស្មាពិសេស ដង្កៀបនេះគឺល្អសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ការធ្វើឱ្យក្តៅ, RTP) និងបន្ទប់ឆ្លាក់ដ៏ខ្លាំងក្លាដែលបន្ទះសៀគ្វីអាលុយមីញ៉ូមរលួយ។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស(ផ្អែកលើរបាយការណ៍តេស្ត SiC S1111 ដែលបានផ្គត់ផ្គង់ និងតម្លៃធម្មតា)):
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
| សម្ភារៈ | ស៊ីអ៊ីក (ស៊ីអ៊ីក ៩៩.៧២%, ស៊ីអ៊ីកសេរី ០.០៥%) |
| ដង់ស៊ីតេ | ៣.១០–៣.១៥ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| ការស្រូបយកទឹក | 0% |
| កម្លាំងបត់បែន | ៤៤៩ មេហ្គាប៉ា |
| ភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹង | ៣.១២ MPa·m¹/² |
| ម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក | ៤៥៧ ជីភីអា |
| ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ | ២៥–២៨ ជីភីអា |
| ចរន្តកំដៅ | ១២០–១៥០ វ៉ាត់/មីលីម៉ែត្រគីឡូវ៉ាត់ |
| CTE (២៥–១០០០°C) | ៤.០–៤.៥ × ១០⁻⁶/℃ |
| សីតុណ្ហភាពប្រើប្រាស់អតិបរមា (គ្មានបន្ទុក) | ១៦០០–១៧០០°C |
| ភាពរាបស្មើ (លើសពី 300 ម.ម) | ≤5 μm |
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | Ra ≤0.4 μm (លាប) |
កម្មវិធី៖
● ការដុតដោយប្រើសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ការដុតដោយកម្តៅ, RTP, ការលូតលាស់តាមរយៈស្រទាប់ខាងក្រៅ)
● ក្បាលឆ្លាក់ប្លាស្មាដែលមានភាពធន់នឹងហ្វ្លុយអូរីនខ្ពស់
● ការដោះស្រាយបន្ទះស្តើងជាមួយនឹងកំដៅ/ត្រជាក់ឯកសណ្ឋាន
● ក្បាលរន្ធសម្រាប់ទ្រទ្រង់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលមិនប៉ះ
ការផលិត៖
ការដុត SiC → ការកិនដោយភាពជាក់លាក់នៃភាពរាបស្មើ និងទម្រង់ផ្ទៃ → ការបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធរន្ធតូចៗជាជម្រើស (សម្រាប់ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមខ្យល់) → ការលាបលើផ្ទៃ → ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន។ ក្បាលម៉ាស៊ីននីមួយៗត្រូវបានត្រួតពិនិត្យ 100% សម្រាប់ភាពរាបស្មើ (ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ឡាស៊ែរ) និងឯកសណ្ឋានក្នុងសុញ្ញកាស (ការធ្វើតេស្តលំហូរ)។
ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
● ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រ CMM (អង្កត់ផ្ចិត កម្រាស់ ទីតាំងរន្ធ)
● ការវាស់ស្ទង់ភាពរាបស្មើតាម ASTM
● ការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយអេលីយ៉ូម (សម្រាប់ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមធូលី)
● ការផ្ទៀងផ្ទាត់កម្លាំងបត់បែនក្នុងមួយបាច់ (របាយការណ៍សាកល្បងយោង)
គុណសម្បត្តិជាង Chucks អាលុយមីញ៉ូម៖
● ចរន្តកំដៅខ្ពស់ជាង (120–150 ធៀបនឹង 32 W/m·K សម្រាប់អាលុយមីញ៉ូម) – ការផ្ទេរកំដៅលឿនជាងមុន 4 ដង
● CTE ទាបជាង (4.0 ទល់នឹង 7.2×10⁻⁶/℃) – កាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅនៃបន្ទះសៀគ្វី
● ភាពធន់នឹងប្លាស្មាខ្ពស់ – អាយុកាលប្រើប្រាស់យូរជាង 10 ដង ក្នុងការឆ្លាក់ហ្វ្លុយអូរីន
● សីតុណ្ហភាពប្រើប្រាស់អតិបរមាខ្ពស់ជាង (១៦០០°C ធៀបនឹង ៨០០°C សម្រាប់អាលុយមីញ៉ូម)
ការប្ដូរតាមបំណង៖
● ផ្ទៃមានរន្ធឬចង្អូរ
● អង្កត់ផ្ចិត 100–450 ម.ម មូល ឬ ការ៉េ
● ចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់គែម ឬភាគថាសបូមធូលីតំបន់
● ជម្រើសផ្នែកខាងក្រោយដែកសម្រាប់ការតោងដែលមានភាពរឹងមាំខ្ពស់
ទិន្នន័យមេកានិចទាំងអស់ខាងលើបានមកពីរបាយការណ៍សាកល្បងដែលបានផ្គត់ផ្គង់ (បាច់ S1111)។ តម្លៃកម្ដៅ និងភាពរឹងគឺជាលក្ខណៈធម្មតាសម្រាប់ថ្នាក់ SiC នេះ។ ក្បាលស៊ីឡាំង SiC ដែលមានរន្ធញើសត្រូវការដំណើរការបន្ថែម។ សូមសាកសួរអំពីភាពអាចរកបាននៃរន្ធញើស និងទំហំរន្ធញើសជាក់លាក់។
