ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស្រោបដោយ Teflon – ផ្ទៃមិនស្អិតសម្រាប់ការដោះស្រាយបន្ទះស្តើងដែលងាយប្រតិកម្ម
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស្រោបដោយ Teflon (PTFE) របស់ St.Cera ផ្សំស្រទាប់អាលុយមីញ៉ូមកម្លាំងខ្ពស់ជាមួយនឹងថ្នាំកូត PTFE ដែលមានការកកិតទាបឯកសណ្ឋាន (កម្រាស់ 15–30 μm)។ ថ្នាំកូតនេះផ្តល់នូវមេគុណកកិតទាបបំផុត (≤0.1) ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមិនស្អិត ដែលការពារការស្អិតជាប់នឹងបន្ទះសៀគ្វី និងលុបបំបាត់ការចម្លងរោគពីខាងក្រោយ។ ស្រទាប់សេរ៉ាមិចខាងក្រោម (99.8% Al₂O₃) ផ្តល់នូវកម្លាំងពត់ខ្ពស់ (361–1000 MPa) ភាពធន់នឹងការពាក់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 260°C (ដែនកំណត់ថ្នាំកូត)។ ឧបករណ៍បញ្ចប់នេះគឺល្អសម្រាប់ដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលឆ្ងាញ់ ស្តើង ឬស្អិត (ឧទាហរណ៍ បន្ទាប់ពីថ្នាំកូត photoresist ឬដំណើរការគីមី)។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស (ផ្អែកលើស្រទាប់ខាងក្រោម Al₂O₃ 99.8% ជាមួយនឹងថ្នាំកូត PTFE)៖
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
| សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម | ៩៩.៨% អាលុយមីញ៉ូម (ពណ៌ស្វាយ) |
| សម្ភារៈថ្នាំកូត | PTFE (តេហ្វ្លុន) |
| កម្រាស់ថ្នាំកូត | ១៥–៣០ មីក្រូម៉ែត្រ |
| មេគុណកកិត (ស្រោប) | ≤0.1 |
| កម្លាំងពត់នៃស្រទាប់ខាងក្រោម (Al₂O₃) | ៣៦១ មេហ្គាប៉ា |
| ភាពរឹងនៃស្រទាប់ខាងក្រោម (Al₂O₃) | ១៦ ជីភីអា |
| ដង់ស៊ីតេស្រទាប់ខាងក្រោម | ៣,៩៣ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា (ដែនកំណត់ថ្នាំកូត) | ២៦០អង្សាសេ |
| ភាពរដុបនៃផ្ទៃ (មុនពេលលាប) | Ra ≤0.4 μm |
| កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិច (ស្រទាប់ខាងក្រោម) | ១៥ × ១០⁶ វ៉ុល/ម៉ែត្រ |
ចំណាំ៖ ថ្នាំកូត PTFE កំណត់សីតុណ្ហភាពអតិបរមាដល់ 260°C; សម្រាប់ការប្រើប្រាស់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សូមពិចារណាប្រើសេរ៉ាមិចដែលមិនមានថ្នាំកូត ឬថ្នាំកូតផ្សេងទៀត។
កម្មវិធី៖
- · ការដោះស្រាយបន្ទះបន្ទះបន្ទាប់ពីថ្នាំកូត photoresist (ផ្ទៃស្អិត)
- · ការផ្ទេរបន្ទះស្តើង ឬផុយស្រួយ (ការពារការជាប់)
- · ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ និងវាស់ស្ទង់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ
- · ស្វ័យប្រវត្តិកម្មបន្ទប់ស្អាតដែលការបំពុលភាគល្អិតត្រូវតែកាត់បន្ថយឱ្យនៅអប្បបរមា
ដំណើរការផលិត៖
ស្រទាប់សេរ៉ាមិចដែលបានដុត និងកិនដោយភាពជាក់លាក់ → ការធ្វើឲ្យរដុបលើផ្ទៃ (ការឆ្លាក់ប្លាស្មា ឬការផ្ទុះគ្រួស) → ការបាញ់ថ្នាំស្រោប PTFE → ការព្យាបាលដោយកម្ដៅនៅសីតុណ្ហភាព 380°C → ការត្រួតពិនិត្យចុងក្រោយ។ ឧបករណ៍ធ្វើឲ្យចុងនីមួយៗត្រូវបានត្រួតពិនិត្យសម្រាប់កម្រាស់ថ្នាំកូត (ចរន្តអេឌី) ភាពស្អិត (ការធ្វើតេស្តកាត់ឆ្លងកាត់ ASTM D3359) និងមេគុណកកិត។
ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
ការត្រួតពិនិត្យមើលឃើញ 100% សម្រាប់រន្ធម្ជុល ឬពពុះ; ឯកសណ្ឋានកម្រាស់ថ្នាំកូតក្នុងរង្វង់ ±5 μm; គ្មានការបែកចេញបន្ទាប់ពីការធ្វើតេស្តពត់ 90° លើប័ណ្ណសាក្សី។ ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រទៅនឹងការអត់ធ្មត់របស់ OEM (ប្រវែង ±0.05 ម.ម, ភាពរាបស្មើ ≤0.1 ម.ម)។
គុណសម្បត្តិជាងថ្នាំកូតដែលមិនមានថ្នាំកូត ឬថ្នាំកូតផ្សេងទៀត៖
- · ផ្ទៃមិនស្អិតការពារការស្អិត និងការបាក់បែកនៃបន្ទះសៀគ្វី
- · មេគុណកកិតទាបបំផុតក្នុងចំណោមថ្នាំកូតសេរ៉ាមិច
- · ធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (អាស៊ីត បាស សារធាតុរំលាយ)
- · កាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិតដោយការពារការផ្ទេរសម្ភារៈ
ដែនកំណត់ (កំណត់សម្គាល់លើគម្លាតសម្ភារៈ):
ថ្នាំកូត PTFE មិនបានមកពីតារាងលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈដែលបានផ្តល់ជូនទេ (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO)។ លក្ខណៈសម្បត្តិស្រទាប់ខាងក្រោមអនុវត្តតាមសន្លឹកទិន្នន័យដែលបានផ្តល់ជូនយ៉ាងតឹងរ៉ឹង (99.8% Al₂O₃)។ លក្ខណៈសម្បត្តិថ្នាំកូតគឺផ្អែកលើលក្ខណៈបច្ចេកទេស PTFE ស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម ព្រោះមិនមានទិន្នន័យថ្នាំកូតត្រូវបានផ្តល់ជូនទេ។ សម្រាប់កម្មវិធីលើសពី 260°C ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចដែលមិនមានថ្នាំកូតត្រូវបានណែនាំ។*
ការប្ដូរតាមបំណង៖
មានប្រវែង 150–1500 ម.ម រាងចុង (ចំណុចក្តាប់គែម Bernoulli រាបស្មើ) លំនាំគែមសម្រាប់ម៉ោនតាមគំនូរ OEM។ ការស្រោបដោយផ្នែក (សម្រាប់តែតំបន់ទំនាក់ទំនង) ឬការគ្របដណ្ដប់ពេញលេញជាជម្រើស។
ស្នើសុំគំរូសម្រាប់ការធ្វើតេស្តភាពស្អិត និងការកកិត។









