បន្ទះចែកចាយឧស្ម័នអាលុយមីញ៉ូមសម្រាប់ក្បាលផ្កាឈូក CVD/PVD
បន្ទះចែកចាយឧស្ម័ន (ក្បាលផ្កាឈូក) របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ពីសេរ៉ាមិចអាលុយមីណា 99.8% ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់។ វាមានលក្ខណៈពិសេសនៃរន្ធតូចៗជាច្រើន (អង្កត់ផ្ចិត 0.3–1.5 ម.ម) ដែលធានាបាននូវលំហូរឧស្ម័នឯកសណ្ឋានឆ្លងកាត់ផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ CVD, PVD ឬ ALD។ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (>15×10⁶ V/m) និងភាពធន់នឹងប្លាស្មារបស់បន្ទះធ្វើឱ្យវាចាំបាច់សម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ស្តើងនៃស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស៖
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
| សម្ភារៈ | ៩៩,៨% Al₂O₃ ឬ SiC |
| អង្កត់ផ្ចិត | ១០០ – ១៥០០មម (មូល) ឬចតុកោណកែង |
| កម្រាស់ | ៥ – ២០ ម.ម. |
| អង្កត់ផ្ចិតរន្ធ | ០.៣ – ១.៥ ម.ម |
| លំនាំរន្ធ | ផ្ទាល់ខ្លួន (ត្រីកោណ ការ៉េ រ៉ាឌីកាល់) |
| ភាពរាបស្មើ | ≤10 μm លើផ្ទៃពេញ |
| ភាពរដុបនៃផ្ទៃ | Ra ≤0.6 μm (ផ្នែកឧស្ម័ន) |
| សមាមាត្រតំបន់បើកចំហ | ៥–១៥% |
កម្មវិធី៖
ចានក្បាលផ្កាឈូក PECVD
ឧបករណ៍ចាក់ឧស្ម័ន ALD
បន្ទះចែកចាយឧស្ម័នសម្រាប់បន្ទប់ឆ្លាក់
សមាសធាតុរ៉េអាក់ទ័រ MOCVD
ការផលិត៖
ស្រទាប់អាលុយមីញ៉ូមលាបរាបស្មើ → ការខួង CNC ជាមួយឧបករណ៍ស្រោបពេជ្រ (ភាពធន់នៃទីតាំងរន្ធ ±0.02 ម.ម) → ការលុបស្នាមឆ្កូត → ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន → ការវេចខ្ចប់ថ្នាក់ 100។
ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
បន្ទះនីមួយៗត្រូវបានត្រួតពិនិត្យ 100% សម្រាប់ទំហំរន្ធ (ប្រព័ន្ធមើលឃើញ) ភាពរាបស្មើ (ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់អន្តរកម្មឡាស៊ែរ) និងឯកសណ្ឋានលំហូរឧស្ម័ន (ការគូសផែនទីសម្ពាធ)។ គ្មានស្នាមប្រេះតូចៗក្រោមមីក្រូទស្សន៍ 20x។
គុណសម្បត្តិជាងបន្ទះដែក៖
គ្មានការចម្លងរោគលោហធាតុនៅក្នុងខ្សែភាពយន្តស្តើងៗទេ
ការបង្កើតភាគល្អិតទាបជាង (គ្មានបំណែកច្រេះ)
ធន់នឹងប្លាស្មាសម្អាតដ៏ខ្លាំងក្លា (CF₄, NF₃)
លក្ខណៈពិសេសផ្ទាល់ខ្លួន៖
បណ្តាញឧស្ម័នខាងក្រោយ រន្ធខួងបញ្ច្រាស ការផ្សាភ្ជាប់គែម និងថ្នាក់សម្ភារៈផ្សេងៗគ្នា (SiC សម្រាប់ចរន្តកំដៅខ្ពស់ជាង ថ្នាំកូត Y₂O₃ សម្រាប់ភាពធន់នឹងប្លាស្មា)។
យើងផ្តល់ជូននូវការផ្ទៀងផ្ទាត់ CAD និងការក្លែងធ្វើលំហូរមុនពេលផលិត។
