ប្រដាប់បូមធូលីសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធញើសសម្រាប់ដោះស្រាយបន្ទះស្តើងៗ
ក្បាលដែកសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធតូចៗរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលមានរន្ធតូចៗស្មើៗគ្នាចាប់ពី 30–45% និងទំហំរន្ធតូចៗចាប់ពី 10 ដល់ 100 μm។ មិនដូចក្បាលដែកដែលមានចង្អូរធម្មតាទេ ផ្ទៃដែលមានរន្ធតូចៗនេះផ្តល់នូវកន្លែងទំនេរចែកចាយពាសពេញផ្នែកខាងក្រោយបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ ដោយកាន់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលរួញ ស្តើង ឬមានរាងឯកសណ្ឋានបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពដោយមិនលើកចេញពីគែម ឬបាក់ឡើយ។ កន្លែងទំនេរស្រាលៗ (អាចលៃតម្រូវបានតាមរយៈឧបករណ៍រឹតបន្តឹង) ក៏ការពារការសម្គាល់ផ្នែកខាងក្រោយផងដែរ។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស(ផ្អែកលើ 99.6% អាល់₂O₃):
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
| ភាពរលុង | ៣០–៤៥% |
| ទំហំរន្ធញើសជាមធ្យម | ១០–១០០ μm (អាចជ្រើសរើសបាន) |
| កម្លាំងបត់បែន | ≥250 MPa |
| ភាពរាបស្មើ (លើសពី 300 ម.ម) | ≤5 μm |
| ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | លាប (Ra 0.8 μm) |
| កម្រិតសុញ្ញកាសអតិបរមា | -៨០ គីឡូប៉ាស្កាល់ |
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការ | ៤០០°C (ខ្យល់), ៦០០°C (អសកម្ម) |
| សម្ភារៈ | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, ឬ SiC |
កម្មវិធី៖
ការកិនផ្នែកខាងក្រោយនៃបន្ទះស្តើង (≤50 μm)
ការតោងបន្ទះបន្ទះដែលកោងសម្រាប់ការកាត់ជាដុំៗ
ការយកផ្សិតដែលមានលក្ខណៈឯកវចនៈចេញពីកាសែត
ការគ្រប់គ្រងបន្ទះកញ្ចក់
ការផលិត និងគុណភាព៖
ម្សៅសេរ៉ាមិចលាយជាមួយសារធាតុបង្កើតរន្ធញើសសរីរាង្គ → ចុច → ដុត → លាបរហូតដល់កម្រាស់ចុងក្រោយ។ ក្បាលម៉ាស៊ីននីមួយៗត្រូវបានធ្វើតេស្តលំហូរសម្រាប់ឯកសណ្ឋានក្នុងសុញ្ញากาศ (គម្លាត ≤5%) និងត្រួតពិនិត្យសម្រាប់ការចែកចាយទំហំរន្ធញើស (SEM)។ ភាពរាបស្មើត្រូវបានវាស់ដោយប្រើឡាស៊ែរអ៊ីនធឺហ្វេរ៉ូម៉ែត្រ។
គុណសម្បត្តិជាង Chucks ដែលមានចង្អូរ៖
គ្មានការសម្គាល់គែម wafer ឬការផ្លាស់ប្តូរ die ទេ
កាន់បន្ទះសៀគ្វីដែលកោង (រហូតដល់ 500 μm bow)
លុបបំបាត់ការស្ទះរន្ធបូមធូលី
ការគាំទ្រកម្រិតដោយខ្លួនឯងសម្រាប់ស្រទាប់ស្តើងៗ
ការប្ដូរតាមបំណង៖
រាងមូល ឬចតុកោណកែង ទំហំរហូតដល់ 600 មីលីម៉ែត្រ។ យើងអាចប្រើចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់គែម ឬភាគថាសបូមធូលីតំបន់។ មានកំណែដែលមានខ្នងដែកសម្រាប់តម្រូវការរឹងមាំខ្ពស់។
ស្នើសុំគំរូសម្រាប់ទំហំបន្ទះ wafer និងការធ្វើតេស្ត warpage របស់អ្នក។
