ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចអាលុយមីណាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់បន្ទប់ដំណើរការ CVD / PVD

ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ប្រើប្រាស់នៅក្នុងបន្ទប់ដំណើរការ CVD (Chemical Vapor Deposition) និង PVD (Physical Vapor Deposition)។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% ចិញ្ចៀននេះបម្រើជាស្រទាប់ខាងក្នុងបន្ទប់ ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍ ឬសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការ ដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងការពារជញ្ជាំងបន្ទប់ពីសំណឹក។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីនដ៏ខ្លាំងក្លា។ ការអត់ធ្មត់វិមាត្រច្បាស់លាស់ (±0.05 ម.ម លើ ID/OD) និងភាពរាបស្មើ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានទីតាំងគែមបន្ទះដែលមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៃការដាក់ និងកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស (ផ្អែកលើ 99.8% Al₂O₃):

កម្មវិធី៖

• · ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍បន្ទប់ CVD និងចិញ្ចៀនគែម
• · ចិញ្ចៀនការពារបន្ទប់ PVD និងចិញ្ចៀនគៀប
• · ស្រទាប់​បន្ទប់​ឆ្លាក់ និង​ចិញ្ចៀន​គម្រប
• · ចិញ្ចៀន​ទប់​ប្លាស្មា​ក្នុង​ប្រព័ន្ធ​ឆ្លាក់​ឌីអេឡិចត្រិច

ដំណើរការផលិត៖

ការចុចអ៊ីសូស្តាទិច → ម៉ាស៊ីនបៃតង → ស៊ីនថិននៅសីតុណ្ហភាព 1600°C → ការកិន CNC ID/OD → ការលាបផ្ទៃ → ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន → ការត្រួតពិនិត្យ CMM 100%។ ការបញ្ចប់ផ្ទៃរលោងខ្លាំង (Ra ≤0.4 μm) កាត់បន្ថយការស្អិតជាប់នៃភាគល្អិត។

ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖

• · ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រ 100% (ID, OD, កម្រាស់, ភាពរាបស្មើ)
• · ការត្រួតពិនិត្យសារធាតុជ្រៀតចូលពណ៌សម្រាប់ស្នាមប្រេះតូចៗលើផ្ទៃ
• · ការធ្វើតេស្តកម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចតាម ASTM D149
• · គ្មានការប្រែពណ៌ ឬ ភាពរលុងដែលអាចមើលឃើញក្រោមមីក្រូទស្សន៍ 20×

គុណសម្បត្តិជាងចិញ្ចៀនដែក ឬ ចិញ្ចៀនរ៉ែថ្មខៀវ៖

• · មានអាយុកាលប្រើប្រាស់យូរជាងចិញ្ចៀនអាលុយមីញ៉ូមក្នុងប្លាស្មាហ្វ្លុយអូរីន ៥-១០ ដង
• · គ្មានការចម្លងរោគលោហៈនៅក្នុងខ្សែភាពយន្តស្តើងៗ
• · ភាពធន់នឹងប្លាស្មាខ្ពស់ជាងរ៉ែថ្មខៀវ (គ្មានរណ្តៅសំណឹក)
• · រក្សាបាននូវអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី >10¹⁴ Ω·cm សូម្បីតែបន្ទាប់ពីការប្រើប្រាស់រយៈពេលវែងក៏ដោយ

សម្ភារៈជំនួស — ស៊ីលីកុននីទ្រីត (Si₃N₄):

សម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការភាពធន់នៃការបាក់ឆ្អឹងខ្ពស់ជាងនេះ (6.2 MPa·m¹/²) និងភាពធន់នឹងការឆក់កម្ដៅកាន់តែប្រសើរ (មេគុណពង្រីក 3.2 × 10⁻⁶/℃) ចិញ្ចៀន Si₃N₄ អាចរកបាន។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ អាលុយមីញ៉ូមមានប្រសិទ្ធភាពចំណាយច្រើនជាងសម្រាប់កម្មវិធី CVD/PVD ភាគច្រើន។ សូមបញ្ជាក់ចំណូលចិត្តសម្ភារៈនៅពេលបញ្ជាទិញ។

ការប្ដូរតាមបំណង៖

• · រន្ធ​ឆ្លងកាត់ ទម្រង់​ជា​ជំហាន ឬ​រន្ធ​ទប់​សម្រាប់​ម៉ោន
• · ផ្ទៃស្រោបដោយ Y₂O₃ សម្រាប់ភាពធន់នឹងប្លាស្មាកាន់តែប្រសើរ (ជាជម្រើស)
• · ការឆ្លាក់ឡាស៊ែរនៃលេខផ្នែក / លេខកូដឡូត៍

ចំណាំ៖ទិន្នន័យខាងលើអនុវត្តតាមតារាងលក្ខណៈសម្បត្តិ Al₂O₃ ដែលបានផ្គត់ផ្គង់យ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ សម្រាប់ចិញ្ចៀន Si₃N₄ សូមមើលសន្លឹកទិន្នន័យ Si₃N₄ ដាច់ដោយឡែកដែលបានផ្តល់ជូន។