ចិញ្ចៀនផ្តោតអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ប្រព័ន្ធឆ្លាក់ប្លាស្មា និងប្រព័ន្ធ CVD
ចិញ្ចៀនផ្តោតអង្គជំនុំជម្រះរបស់ St.Cera គឺជាសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការដ៏សំខាន់មួយដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មា CVD និង PVD។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% (Al₂O₃) ចិញ្ចៀននេះព័ទ្ធជុំវិញគែមបន្ទះសៀគ្វីដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការចែកចាយមុំអ៊ីយ៉ុង ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋានឆ្លាក់នៅទូទាំងផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីន ឬក្លរីន។ ID/OD និងភាពរាបស្មើនៃដីដែលមានភាពជាក់លាក់ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានការកំណត់ទីតាំងគែមបន្ទះសៀគ្វីបានត្រឹមត្រូវ កាត់បន្ថយពិការភាពគែម និងការបង្កើតភាគល្អិត។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស(ផ្អែកលើ 99.8% អាល់₂O₃):
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
| សម្ភារៈ | ៩៩.៨% អាលុយមីញ៉ូម (ពណ៌ស្វាយ) |
| ដង់ស៊ីតេ | ៣,៩៣ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| ការស្រូបយកទឹក | 0% |
| កម្លាំងបត់បែន | ៣៦១ មេហ្គាប៉ា |
| ភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹង | ៣–៤ MPa·m¹/² |
| ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ | ១៦ ជីភីអា |
| ម៉ូឌុលរបស់យ៉ង់ | ៣៨០ ជីភីអា |
| ចរន្តកំដៅ | ៣២ វ៉ាត់/ម៉ែត្រគូប |
| ការពង្រីកកម្ដៅ (២៥–១០០០°C) | ៧.២ × ១០⁻⁶/℃ |
| កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិច | ១៥ × ១០⁶ វ៉ុល/ម៉ែត្រ |
| ភាពធន់ទ្រាំជាក់លាក់ | >10¹⁴ Ω·សង់ទីម៉ែត្រ |
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា | ១៦០០អង្សាសេ |
កម្មវិធី៖
- · ចិញ្ចៀនផ្តោតអង្គជំនុំជម្រះឆ្លាក់ឌីអេឡិចត្រិច (អុកស៊ីដ នីទ្រីតឆ្លាក់)
- · ចិញ្ចៀនគែមបន្ទប់ឆ្លាក់ស៊ីលីកុន
- · ចិញ្ចៀនឧបករណ៍ដំណើរការបន្ទប់ CVD
- · ខែលការពារបន្ទប់ PVD និងចិញ្ចៀនគៀប
ដំណើរការផលិត៖
ម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានចុចដោយប្រព័ន្ធអ៊ីសូស្តាទិច → ម៉ាស៊ីនពណ៌បៃតងទៅជារាងស្ទើរតែសុទ្ធ → ស៊ីនុសនៅសីតុណ្ហភាព 1600°C → ការកិនពេជ្រ CNC នៃ ID, OD និងកម្រាស់ → ការលាបដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពរាបស្មើ ≤10 μm → ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន → ការត្រួតពិនិត្យ CMM 100%។ ការបញ្ចប់ផ្ទៃ Ra ≤0.4 μm កាត់បន្ថយការស្អិតជាប់នៃភាគល្អិត។
ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
- · ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រ 100% (ID, OD, កម្រាស់, ភាពស្របគ្នា)
- · ការធ្វើតេស្តជ្រៀតចូលសារធាតុពណ៌សម្រាប់ស្នាមប្រេះតូចៗ (មិនអនុញ្ញាតឱ្យមានស្នាមប្រេះ)
- · ការត្រួតពិនិត្យដោយមើលឃើញក្រោមមីក្រូទស្សន៍ 20× — គ្មានបន្ទះសៀគ្វី ចន្លោះប្រហោង ឬការប្រែពណ៌ឡើយ
- · ការធ្វើតេស្តកម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចតាម ASTM D149 (ការយកគំរូ)
គុណសម្បត្តិជាងចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍ស៊ីលីកុន ឬឃ្វាតស៍៖
- · អាយុកាលយូរជាង 5–10 ដងនៅក្នុងប្លាស្មាហ្វ្លុយអូរ៉ូកាបូន
- · គ្មានភាគល្អិតសំណឹកដែលអាចប្រើប្រាស់បានដើម្បីបំពុលបន្ទះសៀគ្វីទេ។
- · កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ការពារការកកើតចរន្តអគ្គិសនី
- · រក្សាភាពរាបស្មើ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រក្នុងរយៈពេលរាប់ពាន់ម៉ោង RF
សម្ភារៈជំនួស — ហ្សីកូញ៉ាដែលមានស្ថេរភាពជាមួយយ៉ាទ្រីយ៉ា (ZrO)₂):
សម្រាប់កម្មវិធីដែលត្រូវការភាពធន់នៃការបាក់ឆ្អឹងខ្ពស់ជាង (ឧទាហរណ៍ បន្ទប់ដែលមានវដ្តកម្ដៅញឹកញាប់ ឬការឆក់មេកានិច) ចិញ្ចៀនផ្តោត ZrO₂ (ដង់ស៊ីតេ 6.03 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រ³ កម្លាំងពត់ 1000 MPa ភាពធន់នៃការបាក់ឆ្អឹង 5–8 MPa·m¹/²) អាចរកបាន។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ អាលុយមីណាផ្តល់នូវប្រសិទ្ធភាពចំណាយកាន់តែប្រសើរ និងជាស្តង់ដារឧស្សាហកម្មសម្រាប់កម្មវិធីចិញ្ចៀនផ្តោតភាគច្រើន។
ការប្ដូរតាមបំណង៖
- · ទម្រង់ជំហាន រន្ធទប់ ឬរន្ធម៉ោន តាមគំនូររបស់អតិថិជន
- · ថ្នាំកូត Y₂O₃ សម្រាប់ភាពធន់នឹងសំណឹកប្លាស្មាកាន់តែប្រសើរ (កម្រាស់ 20–100 μm)
- · ការសម្គាល់ដោយឡាស៊ែរនៃលេខផ្នែក លេខកូដកាលបរិច្ឆេទ ឬសញ្ញាតម្រឹម
ចំណាំ៖ទិន្នន័យទាំងអស់ត្រូវអនុវត្តតាមតារាងលក្ខណៈសម្បត្តិ Al₂O₃ ដែលបានផ្គត់ផ្គង់យ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ សម្រាប់លក្ខណៈបច្ចេកទេស ZrO₂ សូមមើលសន្លឹកទិន្នន័យ zirconia ដែលបានផ្គត់ផ្គង់។ ការរចនាចិញ្ចៀនផ្តោតអាចតម្រូវឱ្យមានការអនុម័តប៉ាតង់ — អតិថិជនទទួលខុសត្រូវក្នុងការផ្ទៀងផ្ទាត់សិទ្ធិបញ្ញា។
