ចិញ្ចៀន​ផ្សាភ្ជាប់​សេរ៉ាមិច​អាលុយមីណា​ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់​សម្រាប់​ការផ្សាភ្ជាប់​បន្ទប់​សីតុណ្ហភាពខ្ពស់

ចិញ្ចៀនបិទជិតសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាជម្រើសជំនួសចិញ្ចៀន O-ring ប៉ូលីមែរនៅក្នុងបរិយាកាសខ្លាំងដែលអេឡាស្តូមឺររលួយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ចិញ្ចៀនបិទជិតរឹងនេះត្រូវបានប្រើក្នុងកម្មវិធីបិទជិតឋិតិវន្ត - ជាធម្មតាត្រូវបានផ្គូផ្គងជាមួយលោហៈទន់ ឬប្រដាប់បិទជិតក្រាហ្វីត - ដើម្បីផ្តល់នូវការទប់ទល់ឧស្ម័នដែលអាចទុកចិត្តបាននៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 800°C និងនៅក្នុងប្លាស្មា ឬបរិយាកាសគីមីដ៏ខ្លាំងក្លា។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវការចេញឧស្ម័នសូន្យ កម្លាំងបង្ហាប់ខ្ពស់ (កម្លាំងពត់កោងមូលដ្ឋាន 361 MPa) និងភាពអសកម្មគីមី (ធន់នឹងហាឡូហ្សែន អាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងលើកលែងតែ HF)។ ផ្ទៃបិទជិតដែលមានភាពជាក់លាក់ (ភាពរាបស្មើ ≤5 μm ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra ≤0.2 μm) ធានានូវទំនាក់ទំនងមិនលេចធ្លាយជាមួយសមាសធាតុលោហៈ ឬសេរ៉ាមិចដែលផ្គូផ្គង។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស(ផ្អែកលើ 99.8% អាល់₂O₃):

កម្មវិធី៖

• · ការផ្សាភ្ជាប់ឋិតិវន្តនៃបន្ទប់ដំណើរការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក (CVD, PVD, etch)
• · ត្រាទ្វារឡដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
• · គែម​បញ្ចូល​តាម​សុញ្ញកាស
• · ការបិទនាវារ៉េអាក់ទ័រគីមី

ដំណើរការផលិត៖

ការចុចអ៊ីសូស្តាទិច → ស៊ីនទ័រនៅសីតុណ្ហភាព 1600°C → ការកិនសងខាងពីរជាន់ដោយភាពជាក់លាក់ ដើម្បីទទួលបានផ្ទៃផ្សាភ្ជាប់រាបស្មើ និងរលោងខ្លាំង → ការកាត់គែម → ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន។ ចិញ្ចៀននីមួយៗត្រូវបានធ្វើតេស្តលេចធ្លាយ 100% លើឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាលេចធ្លាយអេលីយ៉ូម ជាមួយនឹងប្រដាប់បិទភ្ជាប់ដែកស្តង់ដារ។

ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖

• · ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រ CMM (ID, OD, កម្រាស់, ភាពស្របគ្នា)
• · ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ទម្រង់ផ្ទៃសម្រាប់ Ra និងភាពរលក
• · ការវាស់ស្ទង់ភាពរាបស្មើដោយប្រើអុបទិករាបស្មើ
• · ការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយអេលីយ៉ូម (វិធីសាស្ត្រសម្ពាធត្រឡប់)

គុណសម្បត្តិជាងចិញ្ចៀនប៉ូលីមែរ O-ring៖

• · ទប់ទល់នឹង 800°C ទល់នឹង <300°C សម្រាប់ FFKM
• · គ្មានការបញ្ចេញឧស្ម័ន — គ្មានការបំពុលបរិស្ថានក្នុងកន្លែងទំនេរ
• · ធន់នឹងសារធាតុគីមីប្លាស្មាទាំងអស់ (ហ្វ្លុយអូរីន ក្លរីន អុកស៊ីសែន)
• · គ្មានការកំណត់សម្ពាធ ឬការខូចទ្រង់ទ្រាយអចិន្ត្រៃយ៍
• · អាយុកាលសេវាកម្មគ្មានដែនកំណត់នៅក្នុងបរិស្ថានស្អាត

ដែនកំណត់ (កំណត់សម្គាល់សំខាន់ៗ)៖

• · មិនមែនជា O-ring ទេ— វាគឺជាចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចរឹងមួយដែលតម្រូវឱ្យមានប្រដាប់បិទជិតទន់ (ទង់ដែង អាលុយមីញ៉ូម ឬក្រាហ្វីត) ដើម្បីផ្សាភ្ជាប់។
• · មិន​អាច​ទ្រទ្រង់​ចលនា​ថាមវន្ត ឬ​ការ​តម្រឹម​គែម​មិន​ត្រឹមត្រូវ​ធំ​ទេ។
• · តម្លៃដំបូងខ្ពស់ជាងចិញ្ចៀនអូរីម័រ ប៉ុន្តែអាយុកាលប្រើប្រាស់យូរជាងនេះកាត់បន្ថយថ្លៃដើមនៃភាពជាម្ចាស់។
• · ផុយស្រួយ — ដោះស្រាយដោយប្រុងប្រយ័ត្ន; ជៀសវាងការប៉ះទង្គិចចំណុច ឬភាពតានតឹងពត់កោង។

ចំណាំ៖ទិន្នន័យខាងលើអនុវត្តតាមតារាងលក្ខណៈសម្បត្តិ Al₂O₃ ដែលបានផ្គត់ផ្គង់យ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ មិនមានទិន្នន័យសម្រាប់សម្ភារៈអេឡាស្តូមឺរត្រូវបានផ្តល់ជូនទេ។ ផលិតផលនេះគឺជាចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់ឋិតិវន្ត មិនមែនជាចិញ្ចៀន O-ring អេឡាស្តូមឺរទេ។ សូមបញ្ជាក់ថាតើវាបំពេញតាមតម្រូវការកម្មវិធីរបស់អ្នកឬអត់។