ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli — ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើង និងផុយស្រួយដោយមិនប៉ះ
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli របស់ St.Cera ប្រើប្រាស់ការលើកឌីណាមិកខ្យល់ដើម្បីគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដោយមិនចាំបាច់ប៉ះពាល់រាងកាយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ ឬស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) វាមានក្បាលបាញ់ដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ដែលបញ្ចេញឧស្ម័នដែលមានសម្ពាធដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ខ្យល់ស្តើងមួយរវាងឧបករណ៍បញ្ចប់ និងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ។ គោលការណ៍មិនប៉ះគ្នានេះលុបបំបាត់ការចម្លងរោគផ្នែកខាងក្រោយ ការប្រេះគែម និងការខូចខាតផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរស្តើង (≤100 μm) ផុយស្រួយ ឬរួញ។ ស្រទាប់សេរ៉ាមិចផ្តល់នូវកម្លាំងបត់បែនខ្ពស់ (361 MPa សម្រាប់ Al₂O₃; រហូតដល់ 550–600 MPa សម្រាប់ SiC) ម៉ាស់ទាប និងស្ថេរភាពវិមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលធានាបាននូវទីតាំងដែលអាចធ្វើឡើងវិញបានក្នុងមនុស្សយន្តផ្ទេរបន្ទះវ៉ាហ្វឺរល្បឿនលឿន។
កំណត់ចំណាំលើសម្ភារៈ៖អាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) គឺជាវត្ថុធាតុដើមដែលប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតសម្រាប់ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចក្នុងការដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីពាក់កណ្តាលចរន្តអគ្គិសនី ដោយសារតែការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៃភាពរឹង អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី ស្ថេរភាពគីមី និងប្រសិទ្ធភាពចំណាយ។ កាបូនស៊ីលីកុន (SiC) ផ្តល់នូវចរន្តកំដៅខ្ពស់ជាង ភាពរឹងខ្ពស់ជាង និងធន់នឹងការពាក់កាន់តែប្រសើរសម្រាប់កម្មវិធីដែលទាមទារបំផុត។ ខណៈពេលដែលហ្សីកូញ៉ាដែលមានស្ថេរភាពដោយ yttria (ZrO₂) ផ្តល់នូវភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹងខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ វាមិនសូវត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងកម្មវិធីនេះទេ ដោយសារតែដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងលក្ខណៈពង្រីកកម្ដៅខុសៗគ្នា។ វាអាចត្រូវបានពិចារណាសម្រាប់សេណារីយ៉ូជាក់លាក់ដែលត្រូវការភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹងពិសេស។ សូមពិគ្រោះជាមួយក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងសម្រាប់ការណែនាំអំពីការជ្រើសរើសសម្ភារៈ។
លក្ខណៈបច្ចេកទេស(ផ្អែកលើ 99.8% អាល់₂O₃):
អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ (អាល់₂O₃) | |
| សម្ភារៈ | អាលុយមីញ៉ូម ៩៩,៨% | |
| ដង់ស៊ីតេ | ៣,៩៣ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប | |
| កម្លាំងបត់បែន | ៣៦១ មេហ្គាប៉ា | |
| ភាពរឹងមាំនៃការបាក់ឆ្អឹង | ៣–៤ MPa·m¹/² | |
| ភាពរឹងរបស់វីកឃើរ | ១៦ ជីភីអា | |
| ម៉ូឌុលរបស់យ៉ង់ | ៣៨០ ជីភីអា | |
| ការពង្រីកកម្ដៅ (២៥–១០០០°C) | ៧.២ × ១០⁻⁶/℃ | |
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា | ៨០០អង្សាសេ (ខ្យល់) | |
| ភាពរដុបនៃផ្ទៃ (បែរមុខទៅបន្ទះស្តើង) | Ra ≤0.4 μm |
គោលការណ៍ប្រតិបត្តិការ៖
ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ ឬអាសូត (0.2–0.6 MPa) ត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់តាមរយៈបណ្តាញខាងក្នុង ហើយចេញតាមរយៈក្បាលបាញ់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ចរន្តខ្យល់ដែលបង្កើនល្បឿនបង្កើតតំបន់សម្ពាធទាបនៅពីលើឧបករណ៍បញ្ចប់ (ឥទ្ធិពលប៊ែរនូលី) ដែលបង្កើតកម្លាំងលើកដែលទ្រទ្រង់បន្ទះសៀគ្វីនៅចន្លោះ 50–200 μm។ គ្មានរន្ធសុញ្ញកាស ឬបន្ទះណាមួយប៉ះនឹងផ្នែកខាងក្រោយបន្ទះសៀគ្វីទេ។
កម្មវិធី៖
- · ការដោះស្រាយបន្ទះស្តើង (≤50 μm) បន្ទាប់ពីការកិនផ្នែកខាងក្រោយ
- · ការដឹកជញ្ជូនបន្ទះ wafer ដែលខូចទ្រង់ទ្រាយ (ឧទាហរណ៍ បន្ទាប់ពី CVD ឬការ annealing)
- · ការផ្ទេរស្រទាប់ខាងក្រោមកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និង LED sapphire
- · ស្វ័យប្រវត្តិកម្មបន្ទប់ស្អាតដែលតម្រូវឱ្យមានការបង្កើតភាគល្អិតសូន្យ
- · ការគ្រប់គ្រងបន្ទះកញ្ចក់ក្នុងការផលិតអេក្រង់បង្ហាញ
ដំណើរការផលិត៖
ស្រទាប់សេរ៉ាមិចដែលបានដុតពីម្សៅដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ → ការកែច្នៃដោយ CNC 5 អ័ក្សនៃបណ្តាញឧស្ម័ន និងរន្ធក្បាលបាញ់ (អង្កត់ផ្ចិត 0.3–1.0 ម.ម, ភាពអត់ធ្មត់ ±0.01 ម.ម) → ការកិនផ្ទៃឱ្យដល់ Ra ≤0.4 μm → ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន → ការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយអេលីយ៉ូម (បណ្តាញឧស្ម័ន)។ មិនត្រូវការថ្នាំកូតទេ — ផ្ទៃសេរ៉ាមិចទទេគឺអសកម្មខាងគីមី និងមិនបំពុល។
ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
- · ការត្រួតពិនិត្យវិមាត្រ (CMM) 100% នៃទីតាំងក្បាលបាញ់ ប្រវែងដៃបាញ់ និងភាពរាបស្មើ
- · ការធ្វើតេស្តឯកសណ្ឋានលំហូរខ្យល់៖ ការធ្លាក់ចុះសម្ពាធ ≤5% នៅទូទាំងក្បាលបាញ់ទាំងអស់
- · ការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយ៖ បំពង់ឧស្ម័នត្រូវបានបិទជិតនៅសម្ពាធ 0.6 MPa គ្មានការធ្លាក់ចុះសម្ពាធលើសពី 30 វិនាទី
- · ការត្រួតពិនិត្យដោយមើលឃើញក្រោមមីក្រូទស្សន៍ 20× សម្រាប់ស្នាមប្រេះតូចៗ ឬ ស្នាមឆ្កូត
Aគុណសម្បត្តិជាងឧបករណ៍បញ្ចប់ទំនាក់ទំនងធម្មតា៖
- · គ្មានការចម្លងរោគនៅផ្នែកខាងក្រោយនៃបន្ទះ wafer — គ្មានការប៉ះមេកានិច
- · គ្មានស្នាមប្រេះគែម ឬការបាក់នៃបន្ទះស្តើងៗទេ
- · ដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលកោង (រហូតដល់ 1 ម.ម. កោង) ជាមួយនឹងគម្លាតស្ថិរភាព
- · លុបបំបាត់ម៉ាស៊ីនភ្លើងបូមធូលី និងការថែទាំក្បាលម៉ាស៊ីនដែលមានរន្ធញើស
- · សំណង់សេរ៉ាមិចធន់នឹងការពាក់ និងការវាយប្រហារដោយសារធាតុគីមី
ការប្ដូរតាមបំណង៖
- · មានសម្រាប់ទំហំ 200 ម.ម, 300 ម.ម ឬទំហំបន្ទះស្តើងតាមតម្រូវការ
- · លំនាំក្បាលបាញ់ឧស្ម័ន៖ ប្រភេទត្រង់ មុំ ឬប្រភេទវិល
- · សម្ភារៈ៖ អាលុយមីណា (ស្តង់ដារ) ឬ ស៊ីលីកុនកាប៊ីត (សម្រាប់ចរន្តកំដៅខ្ពស់បំផុត និងភាពធន់នឹងការពាក់)
- · ប្រវែងដៃអាវ គែមម៉ោន និងទីតាំងរន្ធឧស្ម័ន យោងទៅតាមគំនូរ OEM
ដែនកំណត់៖
ការអនុវត្តគោលការណ៍ Bernoulli (ការរចនាក្បាលបាញ់ គម្លាតខ្យល់) គឺហួសពីវិសាលភាពនៃតារាងលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈដែលបានផ្តល់ជូន។ លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងកម្ដៅខាងលើអនុវត្តតាមសន្លឹកទិន្នន័យដែលបានផ្គត់ផ្គង់យ៉ាងតឹងរ៉ឹងសម្រាប់ Al₂O₃ 99.8%។ គ្មានការថយចុះប្រសិទ្ធភាពនៃសេរ៉ាមិចក្រោមលំហូរឧស្ម័នដែលមានសម្ពាធត្រូវបានគេរំពឹងទុកដោយផ្អែកលើលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈទាំងនេះទេ។ សម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីដែលងាយនឹងរងផលប៉ះពាល់ដោយលំហូរឧស្ម័ន (ឧទាហរណ៍ MEMS ដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធផុយស្រួយ) សម្ពាធឧស្ម័ន និងការរចនាក្បាលបាញ់គួរតែត្រូវបានកែតម្រូវតាមនោះ។
