-
ដំណើរការកែច្នៃតាមតម្រូវការនៃ Al2O3 Ceramic Wafer Chuck
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចានសេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ST.CERA តាមតម្រូវការ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឈុកបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូមទំហំ 12 អ៊ីញសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះស្តើងទំហំ 300 មីលីម៉ែត្រ
ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមខ្យល់ទំហំ 12 អ៊ីញរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងជាក់លាក់ពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (Al₂O₃) 99.8% សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វើរ 300 មីលីម៉ែត្រ។ ក្បាលម៉ាស៊ីននេះមានផ្ទៃដែលមានចង្អូរល្អិតល្អន់ (ទទឹងចង្អូរ 0.5–1.0 មីលីម៉ែត្រ ជម្រេ 2–3 មីលីម៉ែត្រ) ដើម្បីធានាបាននូវការចែកចាយក្នុងកន្លែងបូមខ្យល់ស្មើភាពទូទាំងអង្កត់ផ្ចិត 300 មីលីម៉ែត្រទាំងមូល។ ភាពរាបស្មើត្រូវបានរក្សាក្នុងរង្វង់ 5 μm ដែលអាចឱ្យការជួសជុលបន្ទះវ៉ាហ្វើរមិនរួញអំឡុងពេលកាត់ ការកិនផ្នែកខាងក្រោយ និងការត្រួតពិនិត្យ។ កម្លាំងបត់បែនខ្ពស់ (361 MPa) និងភាពរឹង (16 GPa) របស់វត្ថុធាតុធានានូវស្ថេរភាពវិមាត្ររយៈពេលវែង សូម្បីតែស្ថិតនៅក្រោមវដ្តបូមខ្យល់ម្តងហើយម្តងទៀតក៏ដោយ។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍ស៊ើបអង្កេតស៊ីមីកុងដុកទ័រ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឧបករណ៍ផ្ទុកឧបករណ៍សេរ៉ាមិចបន្ទះសេរ៉ាមិច
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់សេរ៉ាមិចអាលុយមីណាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ការផ្សាភ្ជាប់បន្ទប់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ចិញ្ចៀនបិទជិតសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាជម្រើសជំនួសចិញ្ចៀន O-ring ប៉ូលីមែរនៅក្នុងបរិយាកាសខ្លាំងដែលអេឡាស្តូមឺររលួយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ចិញ្ចៀនបិទជិតរឹងនេះត្រូវបានប្រើក្នុងកម្មវិធីបិទជិតឋិតិវន្ត - ជាធម្មតាត្រូវបានផ្គូផ្គងជាមួយលោហៈទន់ ឬប្រដាប់បិទជិតក្រាហ្វីត - ដើម្បីផ្តល់នូវការទប់ទល់ឧស្ម័នដែលអាចទុកចិត្តបាននៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 800°C និងនៅក្នុងប្លាស្មា ឬបរិយាកាសគីមីដ៏ខ្លាំងក្លា។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវការចេញឧស្ម័នសូន្យ កម្លាំងបង្ហាប់ខ្ពស់ (កម្លាំងពត់កោងមូលដ្ឋាន 361 MPa) និងភាពអសកម្មគីមី (ធន់នឹងហាឡូហ្សែន អាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងលើកលែងតែ HF)។ ផ្ទៃបិទជិតដែលមានភាពជាក់លាក់ (ភាពរាបស្មើ ≤5 μm ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra ≤0.2 μm) ធានានូវទំនាក់ទំនងមិនលេចធ្លាយជាមួយសមាសធាតុលោហៈ ឬសេរ៉ាមិចដែលផ្គូផ្គង។
-
ចិញ្ចៀនផ្តោតអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ប្រព័ន្ធឆ្លាក់ប្លាស្មា និងប្រព័ន្ធ CVD
ចិញ្ចៀនផ្តោតអង្គជំនុំជម្រះរបស់ St.Cera គឺជាសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការដ៏សំខាន់មួយដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មា CVD និង PVD។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% (Al₂O₃) ចិញ្ចៀននេះព័ទ្ធជុំវិញគែមបន្ទះសៀគ្វីដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការចែកចាយមុំអ៊ីយ៉ុង ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋានឆ្លាក់នៅទូទាំងផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីន ឬក្លរីន។ ID/OD និងភាពរាបស្មើនៃដីដែលមានភាពជាក់លាក់ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានការកំណត់ទីតាំងគែមបន្ទះសៀគ្វីបានត្រឹមត្រូវ កាត់បន្ថយពិការភាពគែម និងការបង្កើតភាគល្អិត។
-
ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចអាលុយមីណាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់បន្ទប់ដំណើរការ CVD / PVD
ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ប្រើប្រាស់នៅក្នុងបន្ទប់ដំណើរការ CVD (Chemical Vapor Deposition) និង PVD (Physical Vapor Deposition)។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% ចិញ្ចៀននេះបម្រើជាស្រទាប់ខាងក្នុងបន្ទប់ ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍ ឬសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការ ដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងការពារជញ្ជាំងបន្ទប់ពីសំណឹក។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីនដ៏ខ្លាំងក្លា។ ការអត់ធ្មត់វិមាត្រច្បាស់លាស់ (±0.05 ម.ម លើ ID/OD) និងភាពរាបស្មើ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានទីតាំងគែមបន្ទះដែលមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៃការដាក់ និងកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត។
-
ប្រដាប់បូមធូលីសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធញើសសម្រាប់ដោះស្រាយបន្ទះស្តើងៗ
ក្បាលដែកសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធតូចៗរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលមានរន្ធតូចៗស្មើៗគ្នាចាប់ពី 30–45% និងទំហំរន្ធតូចៗចាប់ពី 10 ដល់ 100 μm។ មិនដូចក្បាលដែកដែលមានចង្អូរធម្មតាទេ ផ្ទៃដែលមានរន្ធតូចៗនេះផ្តល់នូវកន្លែងទំនេរចែកចាយពាសពេញផ្នែកខាងក្រោយបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ ដោយកាន់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលរួញ ស្តើង ឬមានរាងឯកសណ្ឋានបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពដោយមិនលើកចេញពីគែម ឬបាក់ឡើយ។ កន្លែងទំនេរស្រាលៗ (អាចលៃតម្រូវបានតាមរយៈឧបករណ៍រឹតបន្តឹង) ក៏ការពារការសម្គាល់ផ្នែកខាងក្រោយផងដែរ។
-
ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមធូលីសេរ៉ាមិចដែលមានរន្ធញើសដែលមានមូលដ្ឋានលើអាលុយមីញ៉ូមសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើង
បន្ទះរន្ធរន្ធដែលមានមូលដ្ឋានលើអាលុយមីញ៉ូមរបស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតពី Al₂O₃ ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.6% ជាមួយនឹងរន្ធរន្ធបើកចំហដែលគ្រប់គ្រងបាន 30–45% និងទំហំរន្ធរន្ធឯកសណ្ឋានចាប់ពី 10 ទៅ 50 μm។ មិនដូចបន្ទះរន្ធរន្ធដែលមានចង្អូរទេ ផ្ទៃរន្ធរន្ធនេះផ្តល់នូវកន្លែងទំនេរចែកចាយទូទាំងផ្នែកខាងក្រោយបន្ទះវ៉ាហ្វឺរទាំងមូល ដោយលុបបំបាត់ស្នាមគែម និងអាចឱ្យការកាន់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរស្តើងខ្លាំង (≤100 μm) ឬបន្ទះវ៉ាហ្វឺរកោងបានយ៉ាងថ្នមៗ។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវកម្លាំងពត់កោង ≥250 MPa និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 400°C នៅក្នុងខ្យល់។
-
បន្ទះចែកចាយឧស្ម័នអាលុយមីញ៉ូមសម្រាប់ក្បាលផ្កាឈូក CVD/PVD
បន្ទះចែកចាយឧស្ម័ន (ក្បាលផ្កាឈូក) របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ពីសេរ៉ាមិចអាលុយមីណា 99.8% ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់។ វាមានលក្ខណៈពិសេសនៃរន្ធតូចៗជាច្រើន (អង្កត់ផ្ចិត 0.3–1.5 ម.ម) ដែលធានាបាននូវលំហូរឧស្ម័នឯកសណ្ឋានឆ្លងកាត់ផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ CVD, PVD ឬ ALD។ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (>15×10⁶ V/m) និងភាពធន់នឹងប្លាស្មារបស់បន្ទះធ្វើឱ្យវាចាំបាច់សម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ស្តើងនៃស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
