-
ដៃរ៉ូបូតសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះសៀគ្វី
ដៃមនុស្សយន្តសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមរបស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងយ៉ាងជាក់លាក់ពី Al₂O₃ (អាលុយមីញ៉ូម) ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8%។ វារួមបញ្ចូលគ្នានូវកម្លាំងពត់កោងពិសេស (361 MPa) ភាពរឹងខ្ពស់ (16 GPa) និងដង់ស៊ីតេទាប (3.93 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប) ដែលបណ្តាលឱ្យមានដៃទម្ងន់ស្រាល ប៉ុន្តែរឹងសម្រាប់ការផ្ទេរបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច។ មេគុណពង្រីកកម្ដៅរបស់សម្ភារៈ (7.2×10⁻⁶/°C) ត្រូវគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធនឹងស៊ីលីកុន ដែលកាត់បន្ថយភាពមិនស៊ីគ្នាកម្ដៅក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli — ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើង និងផុយស្រួយដោយមិនប៉ះ
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli របស់ St.Cera ប្រើប្រាស់ការលើកឌីណាមិកខ្យល់ដើម្បីគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដោយមិនចាំបាច់ប៉ះពាល់រាងកាយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ ឬស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) វាមានក្បាលបាញ់ដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ដែលបញ្ចេញឧស្ម័នដែលមានសម្ពាធដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ខ្យល់ស្តើងមួយរវាងឧបករណ៍បញ្ចប់ និងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ។ គោលការណ៍មិនប៉ះគ្នានេះលុបបំបាត់ការចម្លងរោគផ្នែកខាងក្រោយ ការប្រេះគែម និងការខូចខាតផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរស្តើង (≤100 μm) ផុយស្រួយ ឬរួញ។ ស្រទាប់សេរ៉ាមិចផ្តល់នូវកម្លាំងបត់បែនខ្ពស់ (361 MPa សម្រាប់ Al₂O₃; រហូតដល់ 550–600 MPa សម្រាប់ SiC) ម៉ាស់ទាប និងស្ថេរភាពវិមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលធានាបាននូវទីតាំងដែលអាចធ្វើឡើងវិញបានក្នុងមនុស្សយន្តផ្ទេរបន្ទះវ៉ាហ្វឺរល្បឿនលឿន។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស្រោបដោយ Teflon – ផ្ទៃមិនស្អិតសម្រាប់ការដោះស្រាយបន្ទះស្តើងដែលងាយប្រតិកម្ម
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស្រោបដោយ Teflon (PTFE) របស់ St.Cera ផ្សំស្រទាប់អាលុយមីញ៉ូមកម្លាំងខ្ពស់ជាមួយនឹងថ្នាំកូត PTFE ដែលមានការកកិតទាបឯកសណ្ឋាន (កម្រាស់ 15–30 μm)។ ថ្នាំកូតនេះផ្តល់នូវមេគុណកកិតទាបបំផុត (≤0.1) ភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមិនស្អិត ដែលការពារការស្អិតជាប់នឹងបន្ទះសៀគ្វី និងលុបបំបាត់ការចម្លងរោគពីខាងក្រោយ។ ស្រទាប់សេរ៉ាមិចខាងក្រោម (99.8% Al₂O₃) ផ្តល់នូវកម្លាំងពត់ខ្ពស់ (361–1000 MPa) ភាពធន់នឹងការពាក់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 260°C (ដែនកំណត់ថ្នាំកូត)។ ឧបករណ៍បញ្ចប់នេះគឺល្អសម្រាប់ដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលឆ្ងាញ់ ស្តើង ឬស្អិត (ឧទាហរណ៍ បន្ទាប់ពីថ្នាំកូត photoresist ឬដំណើរការគីមី)។
