ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមធូលី SiC ដែលមានរន្ធច្រើនដែលមានខ្នងធ្វើពីដែកសម្រាប់ដោះស្រាយបន្ទះស្តើង និងរួញ
ក្បាលស៊ីឡាំងបូមធូលីសេរ៉ាមិចដែលមានមូលដ្ឋានលើលោហៈរបស់ St.Cera ផ្សំស្រទាប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ដែលមានរន្ធតូចៗ ជាមួយនឹងមូលដ្ឋានដែកដែលបានផលិតដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ (អាលុយមីញ៉ូម ឬដែកអ៊ីណុក)។ សម្ភារៈ SiC ដែលមានរន្ធតូចៗ (ខៀវ-ខ្មៅ រន្ធតូចៗ 35–40% ទំហំរន្ធតូចៗ 20–30 μm ភាពជ្រាបចូល 60 ml/cm²·min) ផ្ដល់នូវការចែកចាយបូមធូលីស្មើៗគ្នា និងទន់ភ្លន់ទូទាំងផ្ទៃបន្ទះ ...
លក្ខណៈបច្ចេកទេស (ផ្អែកលើទិន្នន័យ SiC ដែលមានរន្ធញើស):
| អចលនទ្រព្យ | តម្លៃ |
| សម្ភារៈសេរ៉ាមិច | ស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានរន្ធញើស (SiC ≥80%) |
| ពណ៌ | ខៀវ-ខ្មៅ |
| ភាពរលុង | ៣៥–៤០% |
| ទំហំរន្ធញើស | ២០–៣០ មីក្រូម៉ែត្រ |
| ដង់ស៊ីតេ | ២.១–២.៣ ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប |
| ភាពជ្រាបចូល | ៦០ មីលីលីត្រ/សង់ទីម៉ែត្រគូប·នាទី |
| កម្លាំងបត់បែន | ៣២–៣៥ MPa |
| មេគុណពង្រីកកម្ដៅ (25-1000°C) | ៣.៥ × ១០⁻⁶/℃ |
| សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា | ១០០០អង្សាសេ |
| ធន់ទ្រាំអគ្គិសនី | 10⁻¹⁰ Ω/សង់ទីម៉ែត្រ (ក្នុងមួយទិន្នន័យដែលបានផ្គត់ផ្គង់ ធម្មតាសម្រាប់ SiC ដែលមានរន្ធញើស) |
| សម្ភារៈមូលដ្ឋានដែក | អាលុយមីញ៉ូម 6061 ឬដែកអ៊ីណុក 304 (ស្រេចចិត្ត) |
| កម្រាស់មូលដ្ឋានដែក | ១០–៣០ ម.ម (ផ្ទាល់ខ្លួន) |
ចំណាំ៖ កម្លាំងពត់កោងទាបជាង SiC ក្រាស់ដោយសារតែ porosity។ លក្ខណៈសម្បត្តិមូលដ្ឋានលោហៈមិនមែនមកពីតុសេរ៉ាមិចទេ។
កម្មវិធី៖
- · ការកិនផ្នែកខាងក្រោយនៃបន្ទះស្តើងៗ (≤100 μm)
- · ការដំឡើងបន្ទះ wafer រាងកោងសម្រាប់ការកាត់ជាដុំៗ
- · ការចាក់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (រហូតដល់ 1000°C)
- · គ្រឿងបរិក្ខារបូមធូលីសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានរន្ធញើស ឬផុយស្រួយ
ការផលិត៖
បន្ទះ SiC ដែលមានរន្ធញើស (បង្កើតឡើងជាមួយនឹងឧបករណ៍បង្កើតរន្ធញើស បានធ្វើស៊ីនុស) → លាបឱ្យរាបស្មើ ≤10 μm → មូលដ្ឋានដែកដែលផលិតឡើងជាមួយនឹងរន្ធបូមធូលី និងលក្ខណៈពិសេសនៃការម៉ោន → ការភ្ជាប់អេប៉ូស៊ី ឬការគៀបមេកានិច → ការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយអេលីយ៉ូម។
ការគ្រប់គ្រងគុណភាព៖
- · ភាពរលុង និងទំហំរន្ធត្រូវបានផ្ទៀងផ្ទាត់ដោយ SEM
- · ការធ្វើតេស្តភាពជ្រាបចូល (លំហូរខ្យល់)
- · ភាពរាបស្មើត្រូវបានវាស់ដោយប្រើឡាស៊ែរអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ
- · អត្រាលេចធ្លាយអេលីយ៉ូម <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
គុណសម្បត្តិជាងចង្អូរសេរ៉ាមិចដែលមានចង្អូរ ឬក្រាស់៖
- · គ្មានការសម្គាល់បន្ទះ wafer - បូមធូលីឯកសណ្ឋានដោយគ្មានរន្ធដាច់ពីគ្នា
- · សម្អាតរន្ធញើសដោយខ្លួនឯង - កាត់បន្ថយការស្ទះ
- · ដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីដែលខូចទ្រង់ទ្រាយ (រហូតដល់ 500 μm bow)
- · មូលដ្ឋានដែកការពារការបាក់បែកផុយស្រួយ និងធ្វើឱ្យការរួមបញ្ចូលកាន់តែងាយស្រួល
ដែនកំណត់៖
- · កម្លាំងពត់ទាប (32–35 MPa) – ជៀសវាងការផ្ទុកផលប៉ះពាល់
- · សីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការមានកំណត់ត្រឹម 1000°C (SiC ដែលមានរន្ធញើស) ប៉ុន្តែចំណងអេប៉ុកស៊ីដែលមានមូលដ្ឋានលើលោហៈមានកំណត់ត្រឹម ≤200°C លុះត្រាតែមានការគៀបដោយមេកានិច
- · មិនមែនសម្រាប់ម៉ាស៊ីនបូមធូលីសម្ពាធខ្ពស់ទេ (រចនាសម្ព័ន្ធរន្ធញើសកំណត់ឌីផេរ៉ង់ស្យែលម៉ាស៊ីនបូមធូលីអតិបរមា)
ការប្ដូរតាមបំណង៖
- · មូលដ្ឋានដែក៖ អាលុយមីញ៉ូម (ស្រាល) ដែកអ៊ីណុក (ធន់នឹងការច្រេះ) អ៊ីនវ៉ារ (ពង្រីកទាប)
- · ការភ្ជាប់៖ អេប៉ុកស៊ី (≤200°C) ឬការគៀបមេកានិច (រហូតដល់ 500°C)
- · ចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់គែមសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងកន្លែងបូមធូលីតំបន់
សូមចំណាំ៖ កម្លាំងពត់ដែលបានផ្គត់ផ្គង់ (32–35 MPa) គឺទាបជាងសេរ៉ាមិចក្រាស់យ៉ាងខ្លាំងដោយសារតែរន្ធ។ ប្រើប្រាស់ដោយប្រុងប្រយ័ត្នដើម្បីជៀសវាងការប្រេះគែម។
