អាលុយមីញ៉ូ ឬអាលុយមីញ៉ូអុកស៊ីត អាចផលិតបានក្នុងកម្រិតនៃភាពបរិសុទ្ធ។ថ្នាក់ធម្មតាដែលប្រើសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្មទំនើបគឺ 99.5% ទៅ 99.9% ជាមួយនឹងសារធាតុបន្ថែមដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបង្កើនលក្ខណៈសម្បត្តិ។វិធីសាស្រ្តកែច្នៃសេរ៉ាមិចជាច្រើនប្រភេទអាចត្រូវបានអនុវត្ត រួមទាំងការកែច្នៃ ឬបង្កើតជាទម្រង់សុទ្ធ ដើម្បីបង្កើតជាភាពខុសគ្នានៃទំហំ និងរូបរាងរបស់សមាសធាតុ។
សេរ៉ាមិច Al2O3 មានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ
1. ភាពរឹងខ្ពស់ (MOHS រឹងគឺ 9) និងធន់នឹងការពាក់ល្អ។
2. កម្លាំងមេកានិចល្អ។កម្លាំងពត់របស់វាអាចឡើងដល់ 300-500MPa ។
3. ធន់នឹងកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។សីតុណ្ហភាពការងារបន្តអាចឡើងដល់ 1000 ℃។
4. មានភាពធន់ទ្រាំខ្ពស់និងលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីល្អ។ជាពិសេសជាមួយនឹងអ៊ីសូឡង់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អ (ភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពក្នុងបន្ទប់គឺ 1015Ω•cm) និងភាពធន់ទ្រាំនឹងការបំបែកវ៉ុល (កម្លាំងអ៊ីសូឡង់គឺ 15kV / mm) ។
5. ស្ថេរភាពគីមីល្អ។វាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយអាស៊ីតស៊ុលហ្វួរិក អាស៊ីត hydrochloric អាស៊ីតនីទ្រីក និងអាស៊ីត hydrofluoric ទេ។
6. ធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។វាអាចទប់ទល់នឹងសំណឹកនៃលោហធាតុរលាយបានល្អប្រសើរដូចជា Be, Sr, Ni, Al, V, Ta, Mn, Fe និង Co.
ដូច្នេះសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យឧស្សាហកម្មទំនើប។ប្រើជាចម្បងនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិត semiconductor ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក ឧស្សាហកម្មគ្រឿងម៉ាស៊ីន បរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ឧស្សាហកម្មគីមី ឧស្សាហកម្មធុនស្រាល វាយនភ័ណ្ឌ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។
Alumina គឺជាសម្ភារៈសេរ៉ាមិចដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកម្មវិធីដូចខាងក្រោមៈ
✔ អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី សមាសធាតុធន់នឹងការ corrosion សម្រាប់ឡាស៊ែរឧស្ម័ន សម្រាប់ឧបករណ៍កែច្នៃ semiconductor (ដូចជា chuck, end effector, seal ring)
✔ អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីសម្រាប់បំពង់អេឡិចត្រុង។
✔ផ្នែករចនាសម្ព័នសម្រាប់បរិក្ខារខ្វះចន្លោះ និងសារធាតុ cryogenic ឧបករណ៍វិទ្យុសកម្មនុយក្លេអ៊ែរ ឧបករណ៍ប្រើប្រាស់នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
✔ សមាសធាតុធន់នឹងច្រេះ ស្តុងសម្រាប់បូម សន្ទះបិទបើក និងប្រព័ន្ធចាក់ថ្នាំ ពិនិត្យសន្ទះឈាម។
✔ បំពង់ thermocouple, អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី, ប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយកិន, មគ្គុទ្ទេសក៍ខ្សែស្រឡាយ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី១៤ ខែកក្កដា ឆ្នាំ២០២៣